■제품 개요 본장치는 유리 기판과 Si등의 기판을 접착시킬 수 있는(접합) 하기 위해, 관찰 장치에 의해 얼라이먼트 해, 어긋나지 않게 일시 고정(가고정)하는 일을 목적으로 해, 3층까지(유리 기판＋Si기판＋유리 기판)를 일괄로 일시 고정이 가능한 장치입니다.
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