교와리켄 스핀코터, 마스크 얼라이너, 메뉴퓰레이터 등 제품군 (미카사, 오시가네 제품도 공급합니다.)

 

본기는, 실리콘 wafer 및 유리 기반상에 포토레지스트(photoresist)등의 약액을 효율적으로, 한편 균일하게 회전 도포 하는 것을 목적으로 한 고성능 소형 포토레지스트(photoresist) 스피너입니다.
 ＜K-359 S1간이형＞

2 스텝/아날로그 미터/MAX6000rpm/샘플 사이즈~4 인치φ

 ＜K-359SD1＞

3 스텝/디지털 미터/MAX7000rpm/샘플 사이즈~6 인치φ

 ＜K-359SD2＞

3 스텝/디지털 미터/MAX7000rpm/샘플 사이즈~8 인치φ

※사진은 K-359 SD1입니다.		 ＜K-359SD3＞

3 스텝/디지털 미터/MAX3000rpm/샘플 사이즈~12 인치φ

＜공통 시료대＞
샘플 사이즈에 맞추어 오더 받습니다.

 

마스크 얼라이너 제품군 (교와리겐 : 미카사 제품도 공급)

 ＜K-307 PS95 간이형＞
탁상형·저가격·교육실습 방향
콜리메이터-타입

 ＜K-309PW95＞
탁상형·고정밀도 얼라이먼트 머니퓰레이터(manipulator)
콜리메이터-타입
＜K-311PS100＞
탁상형·고성능 integrator 타입
 ＜K-310P100S/165S＞
탁상형·고정밀도 얼라이먼트 머니퓰레이터(manipulator)
고성능 integrator 타입

 ＜K-400PS95＞
양면 노광·전용 발판 첨부
콜리메이터-타입

TEL : 02-868-0661 (代) 

 

 

메뉴퓰레이터

본기는 미세한 반도체 wafer·프린트 기반이나 각종 재료의 전기적 특성을 측정하기 위한 프로빙을 목적으로 하는 장치입니다.
정밀성의 어프로치가 뛰어나 각종 포지셔닝용 메니퓰레이터(manipulator)·프로브·현미경·쉴드 케이스등의 편성에 의해 고객의 요구에 응하겠습니다.
<K-157MP간이형>

샘플 사이즈~4 인치φ

<K-157MP150간이형>

샘플 사이즈~6 인치φ

<K-160MP>

샘플 사이즈~4 인치φ

<K-160MW>

샘플 사이즈~4 인치φ

<K-160MPH/MWH>

샘플 사이즈~4 인치φ
히터 스테이지

<K-163MW1>

샘플 사이즈~6 인치φ
상하동전동 수동 양용 타입

소개하고 있는 제품 이외에도 세미 오토 타입, 홀 효과 측정용등도 갖추고 있습니다.

<K-15MT> <K-15MTS> <K-15MX>
X,Y,Z축미동 5mm 250μm/1회전
Y축조동 16mm
θ축조동 90о
X,Y,Z축미동 기구 개미 틈 기구
치수 약W 38×D 120×H 65 mm
중량 약 260g
X,Y,Z축미동 6mm 250μm/1회전
Y축조동 16mm
θ축조동 90о
X,Y,Z축미동 기구 슬라이드 베어링 기구
치수 약W 55×D 130×H 73 mm
중량 약 400g
X,Y,Z축미동 10mm 500μm/1회전
X,Y,Z축초미동 1mm 20μm/1회전
X,Y,Z축미동 기구 슬라이드 베어링 기구
치수 약W 90×D 130×H 86 mm
중량 약 700g

<L타입> <LL타입> <BNC타입>

재질 형식 치수 침처 R
텅스텐 카바이트 KM2 30mmL×0.7φ×10о 2μ
텅스텐 카바이트 KM5 30mmL×0.7φ×10о 5μ
텅스텐 카바이트 KM10 30mmL×0.7φ×10о 10μ
텅스텐 카바이트 KM30 30mmL×0.7φ×10о 30μ
텅스텐 카바이트 KM50 30mmL×0.7φ×10о 50μ
은 KM30Ag 30mmL×0.7φ×10о 30μ
백금 KM30Pt 30mmL×0.7φ×10о 30μ

＜사용예＞

 

 

TEL : 02-868-0661 (代) 

 

＜후막 측정용 드릴러＞　K－69 J150
본기는 스틸 볼을 연마용 치구에 이용해 스헤리카르드릴법에 근거하는 Si의 에피타크샤르층, 또는 확산층의 막후를 고정밀도, 한편 간편하게 측정 가능하게 한 장치입니다.
＜막후 측정용 드리라＞　K－69 J150
모터 DC100V 25W 0.6A
최대 시료 치수 wafer 6 인치φ
시료 고정 진공 흡착법
스테이지 수평 회전 CW,CCW 각 180о/90о마다 4포인트
스테이지 Y축이동 150mm
드릴 심도 설정 마이크로미터 설정
드릴 압력 설정 웨이트 가감 방식
드릴 회전 스피드 1000~4000 rpm
드릴 타이머 0.1~999.9sec 감산 표시
전원 입력 AC100V 3A
치수 W 475×D 280×H 275 mm
중량 약 16 kg

 

저항율측정기

저항율 측정기

본장치는 직류4탐침법에 근거해 개발된 측정 장치입니다.측정 발판 및, 4탐침프로브를 갖추고 있습니다.
 ＜K-705 R간이형＞

 ＜K-705RS＞

측정 발판
 ＜K-504 RS간이형＞
샘플 사이즈~135 mm□

 ＜K-503RX100＞
샘플 사이즈~4 인치φ

 ＜K-503RX150＞
샘플 사이즈~6 인치φ

 ＜K-505RB300＞
샘플 사이즈~12 인치φ/300mm□

 ＜K-505RB400＞
샘플 사이즈~16 인치φ/400mm□

소개하고 있는 제품 이외에도 갖추고 있습니다.

4탐침프로브
 ＜K-89PS40μR/150μR＞

 

TEL : 02-868-0661 (代) 

 

 

＜wafer 라이프 타임 측정 장치＞　K－720 LH2
본장치는공진 회로를 이용한 새로운 타입의 라이프 타임 측정기입니다.
실리콘 wafer의 라이프 타임 측정기를 비접촉으로 용이하게 실시하는 것이 가능합니다.사용 목적에 따른 오실로스코프(oscilloscope)를 선정하는 것으로써 유효하게 그 실력을 발휘합니다.
라이프 타임 측정 범위 1μS~1000μS(1Ω·cm이상)
분해가능 20mmφ
RF주파수 40MHz
조사 광원 적외 LED
측정 가능 샘플 사이즈 20mmφ~200mmφ t max=2.0 mm
치수 W 260×D 470×H 290 mm
소비 전력 AC100V 50W

 

 

＜P.N 판정기＞　K－706 TS
본기는 열기를 이용한, 실리콘 wafer용 P.N 판정기입니다.
본체 치수 W 148×D 152×H 76 mm
본체 중량 약 1.6 kg
소비 전력 10 W이하
프로브 전체 길이 약 850 mm(코드 부분 약 650 mm)

 

 

＜네이르헷드본다＞　K－207 TS
본기는 집적회로의 선을 연결함기로서 본딩그트르를 이용해 카트리지 히터에 의해 가열된 집적회로의 소정 위치에 와이어를 개입시켜 선을 연결함 시키는 것으로, 와이어에는 0.05 mm의 금선을 사용하고 있습니다.
＜네이르헷드본다＞　K－207 TS
시료 고정 진공 흡착법(별도 협의해)
시료대 온도 상온~200℃이상
시료대 X, Y축이동(머니퓰레이터(manipulator)식) 40mm,5μm/1 눈금
500μm/1회전
시료대 X, Y축이동(체스 맨식) 6mmφ
캬 삐라 리 Z축이동 10 mm이상
사용 와이어 금선 50μm
현미경 스탠드 폴 외경 24.5mmφ
전원 입력 AC100V 3A
치수 W 730×D 530×H 500 mm
중량 약 30 kg
옵션 현미경, 각도 조정 치구, 진공 펌프

 

 TEL : 02-868-0661 (代)                

 

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