자외선 오존 세정 장치는 워크 표면의 유기물 오염의 제거 및, 표면 개질을 행합니다. 복잡한 기구를 필요로 하지 않는, 심플한 드라이 세정 장치입니다. 파이널 세정으로서 위력을 발휘합니다. 　 1 고밀도 UV구라두 램프를 사용. 2 워크면에 대해서 조사가 균일. 3 공간절약, 컴팩트 설계. 4 심플한 유틸리티. 5 양면 세정, 한 면 세정의 대응이 가능. 6 간단 조작, 세이프티 기능 내장.

젖어 성 변화 접촉각의 변화 처리 조건 조사 시간：5분/조사 거리：10 mm 조사 장치：UV-208/조사 샘플：Si웨이퍼- 　 처리 조건 조사 시간：5분/조사 거리：10 mm 조사 장치：UV-208/조사 샘플：Si웨이퍼-

1 웨이퍼-, 포토마스크(photomask), 유리 기판, 광학 부품의 세정 2 수지 부품의 표면 개질 3 접착, 도장, 인쇄, 증착, 땜납등의 밀착성의 향상 4 워크 표면의 누레성 개선

고밀도 UV 크람프 램프, 전원 공급 장치만의 제공도 가능.

UV조사 장비·UV세정 장치·자외선 조사 장치·드라이 세정 장치·유기물 제거/표면 개질 장치

Model: DA-UVO208 / UVO 건식 세정기 (자외선오존세정기　

<Specification>

- UV type : Low pressure Hg Lamp(SANKYO UV; JAPAN)

- Power : AC 220V, 7A

- Contamination cleaning : Organic / Surface

- Target Size : 100 mm(W) x 100 mm(D) x 5 mm(H)

- Exposure area: 200 mm x 200mm

- Exposure Time: Built in Timer(user option; h/m/s)

- Supply Gas : O2 or N2 from 1/4" NPT

기타 별도 사항은 유저와의 요구에 따름

* 옵션사항: 고농도 오존 공급장치