연구실용 간이 마스크 제작기   

MM 605  

1/5 축소노광 포토마스크 제작기

각종 반도체∙MEMS微小구조물 제작을 위해서는 포토마스크가 없어선 안됩니다. 특히 대학･연구소에서는 多種의 마스크를 필요로 합니다. 본 장치는 연구실 레벨에서 간단하게 포토마스크를 제작하가 위한 장치입니다. 현재 가지고 계신 그래픽소프트나 CAD시스템 등으로 프린트한 도면을 OHP필림으로 복사하여 마스크 원판 으로 사용합니다.

MM605로서는 특별히 설계된 光學系로 마스크 원판을 高精度로 1/5축소 投影하여, 에멀전마스크를 제작합니다. 지금까지 외부

위탁에 의존하고 있던 마스크 제작을 손수 손쉽게 저렴한 가격으

로 제작할 수 있습니다. 변화가 많은 연구에는 특히 권장해 드립

니다. 디자인도 縱型(슬림스탠드)스타일로 설치 스페이스도 넓지 않습니다.

[주요사양]

◉축소렌즈부

  배 율              0.2배

  撮像치수           59.4☓59.4mm

  시야치수           297☓297mm

  물체거리           1195.5mm

  물체간거리         1455.5mm

  실행F치수          (像側) 5.487

                     (物側) 27.317

  分解能             (像側) 3.017μm

  (λ=550nm)         (物側) 15.024μm

  주변光量           95.19%

  TV dist            -0.0263%

◉照明部

  형광등             30w  3개

  光조정             가능

  光강도             (max.) 1215Lx ~ (min.) 749Lx

  光분포             1.004%

◉노광타이머         99.9sec (0.1Sec)

◉전원               100V 3A  50/60Hz

◉외형치수           610☓610☓1975mm

◉중량               약 80kg