| 200 mm/8”대응 장치와 300 mm/12”대응 장치가
있습니다. 워크를 회전시키면서 조사시키기 위해 광원장이 워크의 반경분에 들어가 소형, 경량이며 작업 전영역에 균일한 조사(照射)를 행할 수가 있습니다. 또한, 폐사 독자적인 고효율, 작은 시내량 N2퍼지 기능이 탑재되고 있습니다. N2의 사용량이 종래 장치와 비교라고 훨씬 적고 또한 확실한 치환 효과를 얻을 수 있습니다. |
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200 mm/8”대응 |
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300 mm/12”대응 | |||
